真空腔体
1. 真空检漏基本概念
所谓漏气是指气体通过真空系统上的漏孔或间隙，从高压流向低压侧的一种现象。真空系统
主要有以下几点:
虚漏.气密性.漏孔.漏率. 小可检漏率.检漏灵敏度.反应时间.消除时间.漏孔堵塞现象
2. 漏气的判断方法
1真空泵工作是否良好
2真空系统内是否存在严重放气
3真空系统容器壁或间隙处是否漏气
4是否漏气与放气现象共存
3. 真空检漏法
1可动部分：传动轴及其密封部分
2玻璃或陶瓷一类的易损部分
3波纹管
4使用法兰和垫圈的密封部分
5焊接部分的裂痕处
真空腔体
维修真空设备的要点是判断故障。真空抽不上去，原因可能有几个，一定要搞清楚是什么原因，是真空机组的抽气能力不够还是漏率高；或者两者兼而有之。这时，应该耐心观察和记录，从中找出故障。比如，抽空时间相同，而真空度偏低，这时候，关闭高压阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，这时候应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上，看是哪里出现了泄漏，或是扩散泵油被污染了，氧化了等；或是前级管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，轴封漏油，阀片损坏等故障。
故障点找出后怎么处理?
找出故障点就可以因地制宜地进行处理了，简单的办法是换件，小到胶圈、螺栓，大到阀门、真空泵，只要手头上有的都可以换；对于需要焊接的部位应按要求来进行，焊接后还需确认达到了要求。
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